Tato vývěva s čerpací rychlostí 400 l/s v sobě kombinuje nové inovativní technologie TwisTorr a AFS – Agilent Floating Suspension (plovoucí uložení), které snižuje úroveň vibrací a akustického šum pro kompatibilitu s citlivým vybavením a pracovním prostředím.
Molekulární stupně Twis Torr vytváří vysoký kompresní poměr zejména pro lehké plyny, jako jsou vodík a helium, a tím poskytují vysoký výkon při poměrně vysokém vstupním tlaku (Foreline pressure), což umožňuje použití menších a ekonomicky výhodnějších primárních pump. Technologie Twis Torr umožnila kompaktní a energeticky-efektivní konstrukci rotoru zajišťující nízkou provozní teplotu.
Systém plovoucího uložení AFS významně snižuje vibrace a hlučnost vývěvy a zajišťuje optimální provozní podmínky pro ložiska. Výsledkem je prodloužení životnosti, bezporuchový chod a stabilní parametry po celou dobu provozu vývěvy.
Unikátní bezolejová samomazná ložiska používaná v technologii Twis Torr zcela eliminují údržbu a použití oleje a mazání ložisek. Samozřejmostí je provoz vývěvy v jakékoli poloze.
Turbomolekulární vývěva Twis Torr 804 FS je dodávána buď s integrovaným kontrolérem, nebo s kontrolérem pro montáž do panelu.
Inovativní technologie Twis Torr – vysoký kompresní poměr pro lehké plyny a kompaktní konstrukce rotoru poskytuje vynikající parametry s minimálními rozměry
AFS – Agilent Floating Suspension – plovoucí uložení významně eliminuje vibrace a hlučnost, poskytuje optimální pracovní podmínky pro ložiska, prodlužuje životnost, minimalizuje poruchovost a zajišťuje stabilní parametry po celou dobu provozu při optimálním poměru cena/výkon
Vysoký vstupní tlak – umožňuje použití menších primárních vakuových pump, čímž snižuje náklady a rozměry
Unikátní samomazná ložiska – nevyžadují žádnou údržbu a úplně eliminují použití mazacího oleje, umožňují libovolnou pracovní polohu
Volitelné přídavné měděné chlazení – eliminuje korozi a optimalizuje přenos tepla, snižuje spotřebu vody a provozní náklady“
Čerpací rychlost | ISO 100K / CFF 6”/ ISO 100 F | |
N2 | 380 L/s | |
He | 505 L/s | |
H2 | 415 L/s | |
Ar | 340 L/s | |
Průtok plynu při plných otáčkách (s doporučenou primární pumpou) | Air cooling (25°C) | Water cooling (15°C,) |
N2 | 4.3 mbar L/s 255 sccm | 6.2 mbar L/s 367 sccm |
Ar | 1.5 mbar L/s 89 sccm | 3.3 mbar L/s 195 sccm |
He | 7.9 mbar L/s 467 sccm | 10.4 mbar L/s 615 sccm |
Kompresní poměr & Maximální vstupní tlak | Compression ratio | Foreline tolerance |
N2 | 1.0 x 10e11 | 10 mbar |
He | 2.0 x 10e8 | 10 mbar |
H2 | 1.0 x 10e6 | >04 mbar |
Ar | > 1.0 x 10e11 | >8.5 mbar |
Mezní tlak s dopuručenou primární pumpou (5 m3/h) | < 5.0 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr) | |
Vstupní příruba | ISO 100K, ISO 100F, CFF 6” | |
Vstupní příruba primární pumpy | KF16 NW | |
Rotační rychlost | Auto setting from 40800 RPM to 49500 RPM | |
Doba spuštění | < 5 minutes | |
Doporučená primární pumpa
| Agilent DS302 Rotary Vane Pump Agilent IDP-10 Dry Scroll Pump Agilent IDP-15 Dry Scroll Pump | |
Provozní pozice | Jakákoli | |
Normální provozní teplota | +5 °C to +35 °C | |
Relativní vlhkost vzduchu | 0 - 90 % (not condensing) | |
Max teplota příruby během bake-out (bez toku plynu) | 80°C at inlet flange max | |
120°C at inlet flange max (CFF flange) | ||
Mazání | Permanentní mazání | |
Požadavky na chlazení | Air flow temperature: (5 to 35 °C ambient) | |
Water (mandatory if ambient temperature > 35 °C): | ||
Water temperature: | 15 °C to 25 °C | |
Minimum flow: | 100 l/h | |
Pressure: | 2 to 4 bar (45 to 75 psi) | |
Hlučnost | < 43 dB(A) at 1 meter, full speed | |
Skladovací teplota | -40° C to 70° C | |
Max. výška | 3000 m | |
Váha kg (lbs) | ISO100K ISO100F CFF 6" | 22.6 kg (49.8) 23.7 kg (52.3) 23.5 kg (51.8) |
Normy | EMC (Control Units) Safety (CE/CSA) Machinery Directive Low Voltage Directive EMC Directive (Control Units) ROHS | 61326-1 61010-1 DIR 2006/42/CE DIR 2014/35/EU DIR 2014/30/EU DIR 2011/65/EU |