Čerpací rychlost | KF 40 | CFF 2.75" | ISO 63 / CFF 4.5” | |
Ar | 44 l/s | 57 l/s | 66 l/s | |
N2 | 49 l/s | 56 l/s | 67 l/s | |
He | 38 l/s | 46 l/s | 63 l/s | |
H2 | 36 l/s | 40 l/s | 53 l/s | |
Průtok plynu při plných otáčkách (s doporučenou primární pumpou) | Air cooling (25°C) | Water cooling (25°C, 65 l/h) | ||
N2 | 100 sccm | 100 sccm | ||
Ar | 70 sccm | 70 sccm | ||
Kompresní poměr & Maximální vstupní tlak | Compression ratio | Foreline tolerance | ||
Ar | > 1.0 x 1011 | > 14 mbar | ||
N2 | ≥ 1.0 x 1011 | > 14 mbar | ||
He | 2.0 x 106 | > 12 mbar | ||
H2 | 5.0 x 104 | > 4 mbar | ||
Mezní tlak s dopuručenou primární pumpou (5 m3/h) | < 8.0 x 10-10 mbar (< 6.0 x 10-10 Torr) | |||
Vstupní příruba | CFF 4.5”, ISO 63 | |||
CFF 2.75”, KF 40 | ||||
Vstupní příruba primární pumpy | KF16 | |||
Rotační rychlost | 81,000 rpm (1350 Hz driving frequency) | |||
Doba spuštění | < 2 minutes | |||
Doporučená primární pumpa | Mechanical: | Agilent DS-42/102 | ||
Dry pump: | Agilent SH-110/IDP-3 | |||
Provozní pozice | jakákoli | |||
Normální provozní teplota | 5 °C to 35 °C | |||
Relativní vlhkost vzduchu | 0 - 90 % (not condensing) | |||
Max teplota příruby během bake-out (bez toku plynu) | 80°C at inlet flange max (ISO flange) | |||
120°C at inlet flange max (CFF flange) | ||||
Mazání | Permanentní mazání | |||
Požadavky na chlazení | Air flow temperature: (5 to 35 °C ambient) | |||
Water (mandatory if ambient temperature > 35 °C): | ||||
Water temperature: | 15 °C to 25 °C | |||
Minimum flow: | 65 l/h (0.30 GPM) | |||
Pressure: | 2 to 4 bar (45 to 75 psi) | |||
Hlučnost | < 40 dB(A) at 1 meter, full speed | |||
Skladovací teplota | -40° C to 70° C | |||
Max. výška | 3000 m | |||
Váha kg (lbs) | Pump ISO 63 | 2.05 kg | ||
Pump CFF 4.5” | 3.50kg | |||
Pump CFF 2.75” | 3.34kg | |||
Pump KF 40” | 2.37kg | |||
Normy | EMC | 61326-1 | ||
Safety (CE/CSA) Regulatory | DIR 2006/42/CE | |||
ROHS | DIR 2011/65/EU |