Turbo-V 3K-G - Turbomolekulární vývěva (Systém)

První řešení vakuového čerpání pro povlaky tenkých filmů

Turbo-V 3K-G je více než jen pumpa. Jedná se o ucelený čerpací systém, který je navržený speciálně pro průmysl, který zpracovává plazma. Její čerpací fáze a celá stavba jsou optimalizovány pro práci s velmi objemnými průtoky argonu a za velmi vysokých teplot. Navíc obsahuje zabudovanou ovládací elektroniku a integrované větrací a promývací ventily a bezúdržbová ložiska. Všechny tyto vlastnosti činí z Agilent Turbo-V 3K-G optimální čerpací řešení pro průmysl nanášení tenkých vrstev.

Vlastnosti

• Jediný skutečně "zabudovaný" systém na trhu
• Nejvyšší čerpací rychlosti ve své třídě Bezolejová, robustní a spolehlivá
• MTTF více než 200.000 hodin
• Vedoucí design rotoru poskytuje značné snížení hmotnosti a mechanického namáhání
• Patentované upevnění násady rotoru snižuje tahové namáhání rotoru

Technická specifikace

Čerpací rychlost s ISO 250F:	N2: 2200 l/s Ar: 2050 l/s He: 1900 l/s
Kompresní poměr	N2: >1 x 10 7 Ar: >1 x 10 8 He: 6 x 103
Výkon (sccm)	>1400 pro dusík
Základní tlak(mbar)	<10-8
Vstupní příruba	ISO 250F
Příruba primární pumpy	KF40 NW
Rotační rychlost	31800 RPM
Doba spuštění	< 6 min
Max tlak na straně primární pumpy	< 0,5 mbar
Doporučená primární pumpa	> 60 m3/h (v závislosti na požadavcích na tok plynu)
Provozní poloha	Jakákoli
Chlazení	Voda
Hmotnost	52Kg

Technický výkres