Hmotnostní regulátor průtoku P9B, citlivý na tlak, pro více plynů/více rozsahů, se vyznačuje řídicími časy pod 750 milisekund a přesností v rozsahu 1 % nastavené hodnoty v širokém rozsahu procesních plynů, od „lehkých“ plynů, jako je helium, až po „těžké“ plyny, jako je SF6. P9B je skutečný multirozsahový/víceplynový MFC, který je schopen dosáhnout průtoků od 5 sccm do 50 slm v plném měřítku, což minimalizuje požadavky na zásoby MFC.
Průtoky od 5 do 50 000 sccm.
Necitlivý na tlak s integrovaným snímačem tlaku
Více plynů/více rozsahů s přesností 1 % nastavené hodnoty.
Analogové vstupy/výstupy: 0 až 5 VDC
Digitální vstupy/výstupy: DeviceNet, EtherCAT
Plný rozsah průtoku | 5-50,000 sccm (ekvivalent N2) |
Maximální vstupní tlak | 150 psig |
Normální provozní tlakový rozdíl | 10-5000 sccm; 10-40 psid 10,000-20,000 sccm; 15-40 psid (N2 plný rozsah při atmosférickém tlaku na výstupu z regulátoru průtoku) |
Zkušební tlak | 1000 psig |
Praskací tlak | 1500 psig |
Regulační rozsah | 2% až 100% plného rozsahu |
Typická přesnost | ±1% nastavené hodnoty pro 20-100% plného rozsahu ±0,2% plného rozsahu pro 2-20% plného rozsahu |
Opakovatelnost | ±0,3% odečtu |
Rozlišení | 0,1% plného rozsahu |
Teplotní koeficient nulové hodnoty | < 0,05% plného rozsahu/°C |
Teplotní koeficient rozsahu | < 0,08% odečtu/°C |
Tlakový koeficient vstupu | < 0,02% odečtu/psi |
Typický čas ustálení | < 750 msec., typicky nad 5% plného rozsahu |
Doba zahřátí | 30 minut |
Provozní teplota | 10° až 50°C |
Vlhkost při skladování | 0 až 95% relativní vlhkost, nekondenzující |
Teplota při skladování | -20° až 80°C |
Zobrazení teploty | 0 až 100°C |
Přesnost teploty | ±2°C |
Rozlišení teploty | 0,1°C |
Displej | 4 číslice pro hodnotu, 4 znaky pro jednotku |
Zobrazení tlaku | 0 až 100 psia |
Jednotky tlaku | psia, kPA |
Přesnost tlaku | 1% plného rozsahu |
Rozlišení tlaku | 0,1 psia |
Integrita externích úniků | < 1 x 10-10 (scc/sec He) |
Integrita úniku přes uzavřený ventil | < 1,0% plného rozsahu při 25 psig vstupu do atmosféry |
Materiály ve styku s médiem | 316L nerezová ocel VAR, 316 nerezová ocel, Elgiloy, KM-45 |
Materiál sedla ventilu | PTFE (Teflon) |
Povrchová úprava | Průměrný Ra 10µ inch |
Hmotnost | 3 lbs (1,4 kg) |
Shoda | CE |
Nestabilita v postavení | 0,25% plného rozsahu pro indikovaný nulový bod, rozsah a skutečný rozsah |
Tlaková transientnost | ±5% nastavené hodnoty od 20 do 100% plného rozsahu při podmínkách tlakové transience 2 psi na vstupu |
Stačí jen vyplnit jednoduchý formulář a můžeme se do toho pustit!
Grafické zpracování GLIPS.